产品中心
Product Center
PI压力不敏感设计，全金属密封，抗腐蚀性强，满量程10SCCM~30SLPM，±1.0%SP精度，带显示屏
ST500继承了ST550的全金属密封产品高精度、快速响应、低泄漏率和兼容腐蚀性介质等优点。此外，相比于传统的质量流量控制器，ST-500配备PI功能(Pressure Insensitive 压力不敏感)。即在流量传感器前段搭载压力传感器，根据捕捉到压力变动以及变动前的变化，实时修正阀的开度，达成针对压力变化也可以稳定控制流量的目的。
非常适用于半导体设备制造等对于稳定性和精确性等有高要求的气体供给工艺。
应用及案例
• 半导体设备
• 工业炉窑
• 生物发酵培养设备
• 分析仪器
• 医疗设备
• 燃料电池
• 燃烧行业
• 汽车零部件检测
• 真空镀膜
• 光伏
• 食品和制药
• 实验室等
产品特点
• 采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP以及氧化覆膜处理，可以兼容腐蚀性介质
• 带显示屏
• PI压力不敏感设计
• 数字通讯：DeviceNet通信对应
• 可选IGS W型密封圈接头
• 响应时间快：＜1秒
• 高精度：精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)
• 量程可切换：支持修改满量程的30~110%
• 泄漏率低至＜1.0x10-11pa*m3/sec(He)
传感器类型 | 热式绕线型 | ||
阀 门 | 电磁比例阀（断电时关闭） | ||
适用气体※1 | 干燥的兼容性气体 | ||
量 程※2 | 10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10 SLPM | 30 SLPM | |
控制范围 | 2~100%FS | ||
响应时间 | ＜1s | ||
精 度 | ±1%SP（10～100%FS）；±0.1%FS（2～10%FS） | ||
重 复 性 | ± 0.2%FS | ||
动作压差 | L型 | 50~149 KPa | 50~199 KPa |
H型 | 150~300 KPa | 200~300 KPa | |
入口最大压力 | 300KPa（G） | ||
最大耐压 | 1MPa（G） | ||
PI功能※3 | 过冲流量≤±2%FS | ||
外部泄漏率 | ＜1.0x10-11pa*m3/sec（He） | ||
温度 | 允许环境温度 | 5~50 ℃ | |
精度保证温度 | 15~40 ℃ | ||
允许保存温度 | 0~60 ℃ | ||
允许环境湿度 | 0~80%RH（未冷凝） | ||
接液材质 | 316L、PTFE、Au、Co-Ni | ||
密封材料 | SUS316L、Au | ||
电气连接 DeviceNet® | M12型5芯接头 | ||
数字通讯 | DeviceNet® | ||
所需电源 | 11-25VDC，（5VA max） | ||
过程接口 | 1.125"W型92 mm或1/4"VCRM | ||
安装方向 | 建议水平方向 | ||
重 量 | 约1000 g | ||
显 示 | 4位显示屏 | ||
注：
※1：没有记载的气体换算成N2, 细则请另外联系销售人员。
※2：流量校准单位SCCM、SLPM分别表示在0℃,1atm 时的体积流量。
※3： PI功能指标表示供给压力在±3PSI范围变动时，瞬时流量在5~100%FS设定值范围内的最大变化值不会超过±2%FS。
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