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Product Center
小巧,满量程 10 SCCM - 10 SLPM, ± 1%SP精度,支持8种气体切换
作为KOFLOC全新设计的数字式质量流量控制器,EX201SC采用全新结构设计从而大大减小了体积。传感器/控制器/PID算法都沿用了DF200系列,也同时保证了优异的精度和快速的响应时间。通讯方面EX201SC支持基于RS-485的Modbus RTU,采用RJ45接口使用普通网线即可串联多台。
应用及案例
• 分析仪器
• 半导体设备
• 工业炉窑
• 生物发酵培养设备
• 医疗设备
• 燃料电池
• 燃烧行业
• 汽车零部件检测
• 真空镀膜
• 光伏
• 食品和制药
• 实验室等
产品特点
• 数字式:RS485(Modbus-RTU),RJ45接口更加快捷方便
• 体积小巧: 76*30*80MM
• 响应时间快:<1秒
• 高精度: ±1.0%SP(>35%FS);0.35%FS(≤ 35%FS)
• 气体切换:N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4
• 量程切换:支持修改满量程的30~100%
传感器类型 | 热式绕线型 | |
适用气体※1 | N2(气体切换功能适用于 Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4) | |
量程※2 | 10、30、50、100、300、500SCCM, 1、3、5、10SLPM | |
控制范围 | 2~100%FS | |
响应时间 | <1S | |
精 度 | ± 1%SP(> 35%FS);±0.35%FS(≤ 35%FS) | |
重 复 性 | ± 0.2%FS | |
动作压差※3 | L型:50~149 KPa H型:150~300 KPa | |
入口最大压力 | 500 Kpa(G) | |
最大耐压 | 980 Kpa(G) | |
外部泄漏率 | <1.0x10-8pa*m3/sec(He) | |
温度 | 允许环境温度 | 5~50 ℃ |
精度保证温度 | 15~35 ℃ | |
允许保存温度 | -10~60 ℃ | |
允许环境湿度 | 10~90%RH(未冷凝) | |
接液材质 | SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,PTFE,PCTFE,FKM | |
电气连接 | DB9M(依据SEI标准) RJ-45模块化插孔 X 2 | |
模拟流量设置信号 | 0~5V(输入阻抗1MΩ以上)或4~20 mA(输入阻抗250Ω以下) | |
模拟流量输出信号 | 0~5V(最小负载电阻1MΩ以上)或4~20 mA(最小负载电阻250Ω以下) | |
数字通讯 | RS-485旋转开关的地址设置(可选Modbus-RTU) | |
所需电源 | 24 VDC(±10%),300 mA以下 | |
过程接口 | 1/4" SWL(标准),可选1/8" SWL、1/4"VCRM、RC1/4"F | |
安装方向 | 建议水平方向 | |
重 量 | 约500 g | |
尺寸(长*宽*高)※4 | 76*30*80 mm |
注:
※1:干燥,不含腐蚀性成分以及灰尘的洁净气体 。没有记载的气体换算成N2, 细则请另外联系销售人员。
※2:流量校准单位SCCM、SLPM分别表示在0℃,1atm 时的体积流量,可使用专用软件修改气体种类及在指定的全量程(FS)的30~100%(仅C02,CH4为30~80%)之间修改全量程范围。
※3:动作压差可能会因规格不同而异。
※4:长度尺寸不包含接头。