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EX-201SC-RJ数字型质量流量控制器

小巧,满量程 10 SCCM - 10 SLPM, ± 1%SP精度,支持8种气体切换

作为KOFLOC全新设计的数字式质量流量控制器,EX201SC采用全新结构设计从而大大减小了体积。传感器/控制器/PID算法都沿用了DF200系列,也同时保证了优异的精度和快速的响应时间。通讯方面EX201SC支持基于RS-485的Modbus RTU,采用RJ45接口使用普通网线即可串联多台。


应用及案例

• 分析仪器

• 半导体设备

• 工业炉窑

• 生物发酵培养设备

• 医疗设备

• 燃料电池

• 燃烧行业

• 汽车零部件检测

• 真空镀膜

• 光伏

• 食品和制药

• 实验室等



产品特点

• 数字式:RS485(Modbus-RTU),RJ45接口更加快捷方便

• 体积小巧: 76*30*80MM

• 响应时间快:<1秒

• 高精度: ±1.0%SP(>35%FS);0.35%FS(≤ 35%FS)

• 气体切换:N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4

• 量程切换:支持修改满量程的30~100%





技术指标


传感器类型

热式绕线型

适用气体※1

N2(气体切换功能适用于 Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4)

量程※2

10、30、50、100、300、500SCCM,

1、3、5、10SLPM

控制范围

2~100%FS

响应时间

<1S

精         度

± 1%SP(> 35%FS);±0.35%FS(≤ 35%FS)

重  复  性

± 0.2%FS

动作压差※3

L型:50~149 KPa

H型:150~300 KPa

入口最大压力

500 Kpa(G)

最大耐压

980 Kpa(G)

外部泄漏率

<1.0x10-8pa*m3/sec(He)

温度

允许环境温度

5~50 ℃

精度保证温度

15~35 ℃

允许保存温度

-10~60 ℃

允许环境湿度

10~90%RH(未冷凝)

接液材质

SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,PTFE,PCTFE,FKM

电气连接

DB9M(依据SEI标准)

RJ-45模块化插孔 X 2

模拟流量设置信号

0~5V(输入阻抗1MΩ以上)或4~20 mA(输入阻抗250Ω以下)

模拟流量输出信号

0~5V(最小负载电阻1MΩ以上)或4~20 mA(最小负载电阻250Ω以下)

数字通讯

RS-485旋转开关的地址设置(可选Modbus-RTU)

所需电源

24 VDC(±10%),300 mA以下

过程接口

1/4" SWL(标准),可选1/8" SWL、1/4"VCRM、RC1/4"F

安装方向

建议水平方向

重         量

约500 g

尺寸(长*宽*高)※4

76*30*80 mm

注:

※1:干燥,不含腐蚀性成分以及灰尘的洁净气体 。没有记载的气体换算成N2, 细则请另外联系销售人员。

※2:流量校准单位SCCM、SLPM分别表示在0℃,1atm 时的体积流量,可使用专用软件修改气体种类及在指定的全量程(FS)的30~100%(仅C02,CH4为30~80%)之间修改全量程范围。

※3:动作压差可能会因规格不同而异。

※4:长度尺寸不包含接头。



尺寸详图


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产品大图


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订货选型


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