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ALICAT 科里奥利质量流量计和控制器 CODA系列
品牌: ALICAT
量程100 g / h - 10000 g / h,优于0.5%的精度,优于100 ms响应时间
ALICAT 标准型气体质量流量计 20系列
量 程 0.5 sccm — 10000 slpm 测量范围 0.01 ~ 100% 满量程 内置98种气体,10ms快速响应时间,精度优于1%
ALICAT 气体质量流量计-低压损型 20W系列
量 程 0.5 SCCM —— 1000 SLPM 可测范围广,0.01~100%满量程 满量程超低压损最低为480Pa
ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型 20S系列
量 程 0.5 SCCM - 10000 SLPM 层流差压原理 抗腐蚀型
ALICAT 高压气体质量流量计 20Q系列
高压应用实时多元流量测量
ALICAT 气体质量流量控制器 21系列
量 程0.5 SCCM -10000 SLPM 优于30 ms响应时间
ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM 优于1 %的精度 量程可控比宽,0.5~100 %满量程
ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~10000 SLPM 量程可控比1%-100%
ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列
响应式气体流量控制,适用于高压应用
ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 200:1 内置98种气体,100ms响应时间,优于1%精度