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ALICAT 气体质量流量控制器-双向型 22系列
品牌: ALICAT
量程-0.5SCCM~0.5SCCM到-3000SLPM~3000SLPM 量程比200:1 内置98种气体,100ms响应,优于1%精度
ALICAT 气体质量流量计 02系列
ALICAT 气体质量流量控制器 03系列
品牌: ALICAT 满量程 100 SCCM - 100 SLPM,优于 1.5%RD 精度
ALICAT CVD行业专用真空控制器 53系列
CVD行业专用真空控制器
ALICAT CVD专用气体质量流量控制器 51系列
CVD专用气体质量流量控制器 层流差压原理 非抗腐蚀
ALICAT科里奥利质量流量控制器 CODA 83系列
满量程40 g / h - 100 kg / h,优于0.6%读数的精度,优于1000 ms控制响应时间
ALICAT科里奥利质量流量计 CODA 82系列
满量程40 g / h - 100 kg / h,优于0.6%读数精度,优于200 ms的响应时间
ALICAT 科里奥利质量流量控制器 CODA 81系列
满量程40 g / h - 300 kg / h,优于0.2%读数精度,优于200 ms控制响应时间
ALICAT 科里奥利质量流量计 CODA 80系列
满量程40 g / h - 100 kg / h,优于0.2%读数精度,优于200 ms响应时间
ALICAT 气体质量流量控制器-双向型 22S系列
抗腐蚀型,内置128种气体 量程-0.5SCCM~0.5SCCM到-5000SLPM~5000SLPM 量程比100:1,100ms响应,优于1%精度