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满量程10 SCCM - 10000 SLPM，测量范围广，优于10 ms响应时间，高压应用实时多元流量测量
这款多功能20Q系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压（160-320 psia）条件下运行流量所需时间，还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 泄漏检测
● 环境监测 ● 真空行业及镀膜
● 汽车制造 ● 燃料电池
● 计量校准 ● 过程工艺气体测量
● 工业炉窑 ● 半 导 体
● 光 伏
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可测范围广，0. 1~100%满量程
● 响应时间快，优于10 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
量程为10 SCCM - 10000 SLPM
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）
测量范围 0.1 ~ 100%满量程
重复性 ± 0.1%满量程
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，用户可现场编辑混合气体 （最多5种成分），并最多存储20种混合气
量 程 从0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM
测量范围（量程比） 0.2% ~ 100%满量程
显 示 屏 标准为LCD单色显示屏（带背光），可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
精 度 ± 2%满量程 精度升级部分见左下角
累计流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %读数额外误差
重 复 性 ± 0.2%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始）
± 0.01%满量程/ Atm（从清零压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃（从25℃开始）
± 0.1 %读 数/ Atm（从校准压力开始）
响应时间 ＜10 ms（与流量相关）
预热时间 < 1 s
工作温度 -10 ～ 60 ℃（环境和气体）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ~ 95% 无冷凝
工作压力 11.5-320 PSIA
压力精度 ± 0.5 % 读数（读数＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
耐 压 400PSIA（静压）；75PSID（进出口差压）
满量程压损 参考详细压损表
数字输出信号 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默认）；可选Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模拟输出信号 0-5Vdc（默认）；可选1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 9-24 VDC （如选4 - 20 mA或0-10VDC输出，须为12 - 24VDC）
供电电流 40mA ，额外加 40 mA（4 - 20 mA输出）
电气接口 DB9M(默认)，可选DB9、DB15、6针工业接口、8针M12、8针Mini-DIN等
材 质 主体材质：302,303,304,316LSS；密封材质FKM；传感器材质请咨询工厂
泄漏率（外漏） 选择HLCP选项，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
过程接口 NPT内螺纹（默认），详细规格参考压损表；其他接口形式请咨询
安装方向 位置不敏感
安装固定孔 8-32UNC螺纹，数量和孔深与量程相关，具体请咨询
防护等级 IP40（IP66可选）
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、UKCA、RoHS、REACH声明、防爆（可选）
（需另行订购）
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
MQ系列高压气体质量流量计（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
满量程质量流量计 | 满量程压损（PSID） 排气到大气中 | 外观尺寸1 | 过程连接尺寸2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 3.9''H x 2.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）（内螺纹） （Buna-N表面密封至1/8''NPT内螺纹） |
100 SCCM ~ 20 SLPM | 1.0 | 4.1''H x 2.4''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 内螺纹 |
50 SLPM | 2.0 | 4.4''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/4'' NPT 内螺纹 |
100 SLPM | 2.5 | ||
250 SLPM | 2.1 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/2'' NPT 内螺纹 |
500 SLPM | 4.0 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 3/4'' NPT 内螺纹 |
1000 SLPM | 6.0 | ||
2000 SLPM | 5.0 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 7.1 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 内螺纹 |
注1、公制数据见图纸； 2、与Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容，也可根据要求连接VCR和SAE。 | |||
见“尺寸压损”。
艾里卡特20Q系列高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
艾里卡特20QS系列高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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