ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS系列
品牌: ALICAT
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 100:1 内置128种气体,100ms快速响应时间,优于1%的精度
ALICAT 气体质量流量控制器-双向型 22S系列
抗腐蚀型,内置128种气体 量程-0.5SCCM~0.5SCCM到-5000SLPM~5000SLPM 量程比100:1,100ms响应,优于1%精度
ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列
响应式气体流量控制,适用于高压应用
ALICAT 科里奥利质量流量控制器 CODA 81系列
满量程40 g / h - 300 kg / h,优于0.2%读数精度,优于200 ms控制响应时间
ALICAT科里奥利质量流量控制器 CODA 83系列
满量程40 g / h - 100 kg / h,优于0.6%读数的精度,优于1000 ms控制响应时间
ALICAT CVD专用气体质量流量控制器 51系列
CVD专用气体质量流量控制器 层流差压原理 非抗腐蚀
ALICAT 气体质量流量控制器 03系列
品牌: ALICAT 满量程 100 SCCM - 100 SLPM,优于 1.5%RD 精度
SUPERTECH BT系列质量流量控制器
品牌: SUPER TECH
ST质量流量控制器 10 SCCM - 20 SLPM
SUPER TECH ST系列质量流量控制器(可选大量程)
ST系列质量流量控制器 量程覆盖范围10sccm-20slpm 大量程:50-100SLPM