产品中心
Product Center
满量程10 SCCM - 10000 SLPM），优于2 %的精度，优于100 ms响应时间，适用于高压应用
21Q系列气体质量流量控制器，同我们的标准控制器一样，能对需要较高管线压力（160-320 PSIA）的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能够快速实现稳定控制。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 环境监测
● 真空行业及镀膜 ● 工业炉窑
● 半 导 体 ● 汽车制造
● 光 伏 ● 燃料电池
● 计量校准 ● 过程工艺气体测量
产品特色
数字化产品
多参数显示和输出：温度、压力、流量等
稳态控制范围广，0. 5~100%满量程
响应时间快，优于100 ms
内置98种气体
可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
量程为10 SCCM - 10000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）
测量范围 0.1 ~ 100%满量程
重复性 ± 0.1%满量程
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，用户可现场编辑混合气体 （最多5种成分），并最多存储20种混合气
量 程 从0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM
量程可控比（稳态） 0.5% ~ 100%满量程
显 示 屏 标准为LCD单色显示屏（带背光），可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
精 度 ± 2%满量程 精度升级见左下角
累计流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %读数额外误差
重 复 性 ± （0.1%读数+0.02%满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始）
± 0.01%满量程/ Atm（从清零压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃（从25℃开始）
± 0.1 %读 数/ Atm（从校准压力开始）
控制响应时间（T63） ＜100 ms（与流量相关，用户可调）
显示响应时间 ＜10ms（与流量相关）
预热时间 ＜1s
工作温度 -10 ～ 60 ℃（环境和气体）
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ~ 95%，无冷凝
工作压力 11.5-320PSIA
压力精度 ± 0.5 % 读数（读数＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
耐 压 400PSIA（静压）；75PSID（进出口差压）
满量程压损 参考详细压损表
数字输入/输出信号 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默认）；可选Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模拟输入/输出信号 0-5Vdc（默认）；可选1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
数据刷新频率 数字信号40Hz@19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10Hz
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差
供电电压 12 - 24VDC（与量程相关）
供电电流 0.250 -2A（与量程相关；+40mA，对于4-20mA输出）
电气接口 DB9M（默认），可选DB9、DB15、6针工业接口、8针M12、8针Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 选择HLCP选项，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 质 主体材质：302,303,304和316LSS；
PCV阀门材质：430FRSS和黄铜；
R阀门材质：410SS，Nylon和Derlin；
密封材质FKM；
传感器材质请咨询工厂
过程接口 NPT内螺纹（默认），详细规格参考压损表；其他接口形式请咨询
安装方向 配置R阀门需阀体垂直向上安装，其他阀门无要求
安装固定孔 8-32UNC螺纹，数量和孔深与量程相关，具体请咨询
防护等级 IP40（可选IP66）
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、UKCA、RoHS、REACH声明、防爆 （可选）
（需另行订购）
● 过程端口接头和过滤器
● 电源
● 通讯线缆和转换线缆
● BB3和BB9多点式集线盒
● Flow Vision软件
● MCQ系列高压气体质量流量控制器（电源需另行订购）
● NIST可溯源校准证书
● 艾里卡特操作说明书
满量程高压质量流量控制器 | 满量程压损（psid） 排气到大气中 默认阀门配置 | 外形尺寸 | 过程接口 | 重量 |
10 SCCM | 2.8 | 3.90''H x 3.34''W x 1.05''D | M5内螺纹（10-32兼容） （随货带Buna-N面密封转1/8''NPT内螺纹接头） | 1.1lb（约0.5kg） |
50 SCCM | 1.0 | |||
100 SCCM ~ 500 SCCM | 1.0 | 4.07''H x 3.59''W x 1.05''D | 1/8'' NPT 内螺纹 | 1.2lb（约0.5kg） |
1 SLPM | 1.5 | |||
2 SLPM | 3.0 | |||
5 SLPM | 2.0 | |||
10 SLPM | 5.5 | |||
20 SLPM | 20.0 | |||
50 SLPM(配置R阀门) | 2.0 | 5.50''H x 8.03''W x 2.25''D | 1/4'' NPT 内螺纹 | 9.0lb（约4.1kg） |
100 SLPM（配置R阀门） | 3.2 | |||
250 SLPM（配置R阀门） | 2.4 | 5.50’’H x 7.65’’W x 2.25’’D | 1/2’’ NPT 内螺纹 | 9.0lb（约4.1kg） |
500 SLPM | 6.5 | 5.50’’H x 7.28’’W x 2.25’’D | 3/4’’ NPT 内螺纹
| 9.0lb（约4.1kg） |
1000 SLPM | 14.0 | |||
2000 SLPM | 28.6 | 5.50’’H x 8.10’’W x 2.90’’D | 12lb（约5.4kg） | |
3000 SLPM | 16.8 | 5.50’’H x 8.90’’W x 2.90’’D | 1-1/4’’ NPT 内螺纹 | 12lb（约5.4kg） |
5000 SLPM | 14.1 | 6.33’’H x 10.00’’W x 4.50’’D | 1-1/2’’ NPT 内螺纹 | 28lb（约12.7kg） |
10000 SLPM | 12.0 | 6.33’’H x 9.73’’W x 4.50’’D | 1-1/2’’ NPT 内螺纹 | 23lb（约10.4kg） |
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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