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量程 10 SCCM - 20 SLPM,±1 % 满量程精度,优于 600 ms 响应时间
SUPERTECH BT系列质量流量控制器是最新一代工业微机电的产品,采用基于微机电系统(MEMS)的流量传感器,适用于广泛的气体流量精密测量领域。
BT系列量程覆盖范围10sccm-20slpm(氮气等效)控制范围从1%满量程到100%满量程。
提供Modbus-RTU(基于RS232或RS485)数字信号或模拟信号(4-20mA或0-5V)通信接口。所雪的电源电压为15-32 V。
BT系列紧凑设计只有68mm的长度和80mm的高度高度是传统产品尺寸的3/5,并且本产品可以在360任意角度下安装使用。
应用及案例
● 气相色谱仪
● 配气仪
● 真空镀膜
● 泄漏检测
● 生物发酵
● 食品和制药
● 实验室等