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SUPER TECH ST系列质量流量控制器

量程 10 SCCM - 20 SLPM,±0.8% 设定点精度,优于 600 ms 响应时间

SUPER TECH ST系列质量流量控制器是最新一代工业微机电的产品,采用基于微机电系统(MEMS)的流量传感器,适用于广泛的气体流量精密测量领域。
ST系列量程覆盖范围10sccm-20slpm(氮气等效),控制范围从1%满量程到100%满量程。
提供Modbus-RTU(基于RS232或RS485)数字信号或模拟信号(4-20mA或0-5V)通信接口。所需的电源电压为15-32V。
ST系列紧凑设计只有68mm的长度和80mm的高度,高度是传统产品尺寸的3/5,并且本产品可以在360°
任意角度下安装使用。

应用及案例

●  气相色谱仪

●  配气仪 

●  真空镀膜 

●  泄漏检测 

●  生物发酵

●  食品和制药

●  实验室等



产品特点

●  响应时间≤600毫秒 

●  控制范围从 1% 到 100% 满量程 

●  ±0.8% 设定点精度

●  温度和压力影响不敏感 

●  结构紧凑小巧易于安装 

●  良好的重复性




性能指标




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