ALICAT 气体质量流量计 20系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 sccm — 6000 slpm
量程比 200：1
内置98种气体，10ms快速响应时间，精度优于1%

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ALICAT 气体质量流量计-低压损型 20W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM —— 500 SLPM
量程 比 200：1
满量程压损最低可达0.06PSID，且不影响其它任何性能指标

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ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型 20S系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 5000 SLPM
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
量程比 100:1
层流差压原理
抗腐蚀型

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ALICAT 高压气体质量流量计 20Q系列

品牌: ALICAT

高压应用实时多元流量测量

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ALICAT 气体质量流量控制器 21系列

品牌: ALICAT

量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM
响应时间小于100 ms
精 度±（0.8％读数+0.2％满量程）

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ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 500 SLPM
量程比 200：1
内置98种气体，100ms快速响应时间，优于1%的精度

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ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列316L

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～6000 SLPM
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
可测范围广， 1~100%

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ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列

品牌: ALICAT

响应式气体流量控制，适用于高压应用

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ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
内置98种气体，100ms响应时间，优于1%精度

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ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS型

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
内置128种气体，100ms快速响应时间，优于1%的精度

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