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ALICAT 气体质量流量计 20系列
品牌: ALICAT
量 程 0.5 sccm — 6000 slpm 量程比 200:1 内置98种气体,10ms快速响应时间,精度优于1%
ALICAT 气体质量流量计-低压损型 20W系列
量 程 0.5 SCCM —— 500 SLPM 量程 比 200:1 满量程压损最低可达0.06PSID,且不影响其它任何性能指标
ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型 20S系列
量 程 0.5 SCCM - 5000 SLPM 精 度 ±(0.8 %读数 + 0.2 %满量程) 量程比 100:1 层流差压原理 抗腐蚀型
ALICAT 高压气体质量流量计 20Q系列
高压应用实时多元流量测量
ALICAT 气体质量流量控制器 21系列
量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM 响应时间小于100 ms 精 度±(0.8%读数+0.2%满量程)
ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 500 SLPM 量程比 200:1 内置98种气体,100ms快速响应时间,优于1%的精度
ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列316L
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~6000 SLPM 精 度 ±(0.8 %读数 + 0.2 %满量程) 可测范围广, 1~100%
ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列
响应式气体流量控制,适用于高压应用
ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 200:1 内置98种气体,100ms响应时间,优于1%精度
ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS型
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 100:1 内置128种气体,100ms快速响应时间,优于1%的精度