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ALICAT 气体质量流量控制器 21系列

量程0.5 SCCM-6000 SLPM,优于1 %的精度,控制范围广,优于100 ms响应时间

美国ALICAT 21系列标准型质量流量控制器,采用内部补偿型层流压差专利技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力,并显示气体温度,适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校,可达到优于100 ms的控制速度,并保持极佳稳定性,并有超低压损产品可供您选择。

应用及案例


● 大学/研究所           ● 环境监测

● 真空行业及镀膜     ● 工业炉窑

● 半 导   体               ● 汽车制造

● 光       伏               ● 燃料电池

● 计量校准               ● 过程工艺气体测量


产品特色


●  数字化产品

●  多参数显示和输出:温度、压力、流量等

●  多参数控制,如体积流量、质量流量和压力

●  标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板

●  可选高精度:优于0.5%

●  可测范围广,0.01~100%

●  响应时间快,优于100 ms

●  内置98种气体

●  可现场编辑混合气体(最多5种成分),并最多存储20种混合气



性能指标


介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体,请参考气体兼容表

                  一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量       程       从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM(详情请咨询)

测量和控制范围    0.01-100%

最大显示流量    128 %满量程

最大可控流量    102.4 %满量程

显  示  屏    按键操作,标准为LCD黑白显示屏(带背光),可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ±(0.8 %读数 + 0.2 %满量程)

高  精  度    ±(0.4 %读数 + 0.2 %满量程),选配,仅适用于量程为20SLPM-500 SLPM的设备

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%读数的额外误差

重  复  性    ± 0.2 %满量程

零点漂移&满量程漂移    0.02% 满量程/ ℃/ Atm

响应时间    100 ms(可调)

预热时间    <1s

标定工况    25 ℃&1Atm(其它标况可调)

阀门响应时间(典型值)    30 ms达到63%设定值(T63)

工作温度    -10 ~ 60 ℃(可选高温选项至100℃)

温度精度    ± 0.75℃

工作湿度    0 ~ 95 %,无冷凝

最大工作压力    1 MPaG(可选2MPaG高压选项)

最低操作压力    如果不做真空特殊标定,建议在绝压80KPaA以上使用;

                         其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ±0.5%读数(读数>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm)

极限耐压    1.1MPaG

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40Hz@19200波特率;

模拟信号:1000Hz

屏幕刷新频率    10Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNetEtherCATEtherNet/IPProfibus*

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压    7-30 VDC (如选4-20 mA输出,须为15-30 VDC )

供电电流    250 mA,1 A,2 A(详情咨询)

                  额外加 40 mA( 4 - 20 mA)

电气接口    DB9,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率(外漏)    选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、430FR不锈钢、硅、玻璃

过程连接    标准为NPT内螺纹,详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA (可选)

 *如选Profibus,则无模拟信号,无显示,其供电电压及供电电流需来电垂询



选项配件


标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
RS-232多点式数字输入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选
可调节PID算法 
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
可控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保


可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体(最多4种)
定制流量范围
不锈钢阀门
高流量低压损阀门
防爆选项
集成式电位计控制


安装手册

1


机构认证

1


尺寸详图


                         ALICAT 21系列18V1.jpg




尺寸图-MCRH-5000SLPM-D.jpg



尺寸连接


满量程质量流量控制器

满量程压损1psid

排气到大气中

外观尺寸

连接接口2

0.5 sccm - 50 sccm

1.0

3.9''H ×3.4''W ×1.1''D

M-5 10-32)(内螺纹)3

100 sccm - 500 sccm

1.0

4.1''H ×3.6''W ×1.1''D

1/8''NPT内螺纹

1 slpm

1.5

2 slpm

3.0

5 slpm

2.0

10 slpm

5.5

20 slpm

20.0

50 slpm

2.0

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/8''NPT内螺纹

100 slpm

3.2

250 slpm

2.4

5.5''H ×7.7''W ×2.3''D

1/2''NPT内螺纹

500 slpm

6.5

5.5''H ×7.4''W ×2.3''D

3/4''NPT内螺纹

2000 SLPM 可选配1-1/4''NPT内螺纹)

1000 slpm

14.0

1500 slpm

17.0

2000 slpm

28.6

5.5''H ×8.1'W ×2.9''D

3000 slpm

16.8

5.5''H ×8.9''W ×2.9''D

1-1/4''NPT内螺纹

5000 slpm

14.1

6.3''H ×10.0''W ×4.5''D

1-1/2''NPT内螺纹

1、另有低压损系列质量流量控制器。

2、与Beswick®Swagelok®管,Parker®,表面密封,快接接头和卡套转接头相兼容,也可以按照用户需求与VCRSAE接头相兼容。

3Buna-N表面密封至1/8''NPT内螺纹。



产品大图

质量流量控制器-标准型-MC-21.png



型号列表


见“尺寸连接”。



气体编码表


选型表截图长图.png