▲ SUPER TECH ST系列

质量流量控制器是最新一代工业 微机电的产品，采用基于微机电系统(MEMS)的流量  传感器，适用于广泛的气体流量精密测量领域。

ST系列量程覆盖范围10sccm-20slpm  (氮气等效), 控制范围从1%满量程到100%满量程。提供Modbus-RTU(基于RS232或RS485)数字信号或 模拟信号(4-20mA或0-5V)通信接口。所需的电源电 压为15-32V。ST系列紧凑设计只有68mm 的长度和80mm 的高度， 高度是传统产品尺寸的3/5,并且本产品可以在360° 任意角度下安装使用。

▲ ALICAT 21系列

ALICAT 21系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。

可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校，可达到优于100 ms的控制速度，并保持极佳稳定性，并有超低压损产品可供您选择。

▲ B600 系列动态气体校准仪

能够实现将标准气体按照一定比例进行稀释输出设定浓度气体，最多可连 接四种标气。用于气体传感器、气体分析仪等产品的校准仪器。该产品基于气体通过 MFC（质量流量控 制器）的原理，并根据 ISO 6145 / 7 等标准制造。具有电容触摸屏液晶界面，所有功能管理简单易用。每个质量流量控制器是由可追溯的初级标准工厂校准。每个质量流量控制器都由可追溯的标准进行工厂 校准，具有 NIST（美国国家标准和技术研究院）可溯源校准证书。