工业用零部件的表面处理都是相当有讲究的。比如：汽车的发动机轴、气缸套筒、高速齿轮等主要性能部件都需要进行表面氮化处理，以提高硬度、耐磨性和疲劳极限。

氮化处理是利用氨在一定温度(500～600℃)下所分解的活性氮原子向钢的表面层扩散，而形成铁氮合金，从而改变工件表面的力学性能和物理、化学性质。右图为国内某知名氮化炉生产厂家利用艾里卡特质量流量控制器控制参与氮化炉内反应的氨气的质量流量。

氨气在400℃以上发生分解反应：2NH3→2N+3H2

分解出的氮原子被工件吸收从而形成氮化层。将被加工工件置于渗氮炉内不锈钢真空密封罐中，通过质量流量控制器精密控制氨气的输入流量，加热到520℃，根据工件要求的氮化层厚度保持适当的时间，通常为10~60小时。整个过程中需要保持稳定的氨气流量并根据氮势的变化迅速调节裂解氨气的流量，由此确保渗氮炉内稳定的气氛及炉压，使得被加工部件表面氮层均匀。

                   耐腐蚀质量流量控制器同时测量氮化炉多种变量参数

                                    质量流量、体积流量、温度、绝对压力、累计流量(选配)