产品中心
Product Center
美国ALICAT 21V系列带截止阀质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21V系列数字式质量流量控制器是专为需要紧密关闭应用而设计的，如真空镀膜和溅射过程等。该集成气动切断阀是常闭的，并且在闭合状态下其最大氦气泄漏率仅为1x10 atm scc/s。
应用及案例
● 大学/研究所
● 真空行业及镀膜
● 半导体
● 光伏
● 过程工艺气体测量
产品特色
数字化产品
带气动截止阀，泄漏率低
多参数显示和输出：温度、压力、流量等
多参数控制:体积流量、质量流量和压力
标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
可选高精度：可优于0.5%
量程比 200:1
响应时间快 仅需100ms(可调)
内置98种气体
现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 200：1
最大显示流量 102.4%FS
显示屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程
高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
阀门泄漏率 不超过1x10 atm scc/sec (He)
重复性 ± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
响应时间 100ms（可调）预热时间：<1s
标定工况：25℃ & 100kPa 绝压、20℃ & 100kPa 绝压、0℃ & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ℃
工作湿度：0-100%，无冷凝
标准最大工作压力 1MPa 表压
标准极限耐压 1.2MPa 表压
中压选项 2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压 7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流 250mA ～ 750mA
电气接口 8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材质 316L,303&302不锈钢,Viton,硅胶RTV，玻璃增强尼龙
铝 ,黄铜,430FR 不锈钢, 硅，玻璃, PCTFE
安装方式 对位置无要求 防护等级：IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
品种齐全，上万种仪表
国外直销， 原装进口
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