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产品应用

真空镀膜-外部离子真空计真空控制系统

时间: 2018-03-27 17:14:00 来源: 点击: 2468

    如下图外部离子真空计真空控制系统,采用了具有独特配置的ALICAT单阀压力控制器(即外部离子真空计真空控制器)。此款控制器专为真空镀膜行业而制造。 

    ALICAT独特的创新,使压力传感器具有极低的量程范围,从而可以控制镀膜室的极高真空状况。 

    真空控制器可实现快速控制,主要基于离子真空计的传感器所提供的0~10V线性压力输出。控制器可接收此信号,用于控制镀膜室的极高真空状况。


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    在上述应用中,0~10V信号对应了0~0.5Torr的极高真空。控制器利用离子真空计提供的此信号,可精确控制镀膜室的极高真空状况。

    通过本地模拟信号或RS232通信,可方便地设置控制器的设定点。 

    真空控制器上游的质量流量计不受下游真空影响,可以精确测量质量流量、体积流量和流入真空室的气体的累积质量。 

    如有问题,请联系销售工程师,讨论您的系统应用情况。